IEC 62047-16-2015 PDF
Name in English:
St IEC 62047-16-2015
Name in Russian:
Ст IEC 62047-16-2015
Description in English:
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16- Test methods for determining residual stresses of MEMS films - Wafer curvature and cantilever beam deflection methods. IEC 62047-16:2015-03(en-fr). Original standard IEC 62047-16-2015 in PDF full version. Additional info + preview on request
Description in Russian:
Полупроводниковые приборы - Микроэлектромеханические устройства - Часть 16- Методы испытаний для определения остаточных напряжений пленок MEMS - Методы кривизны пластины и отклонения консольной балки. IEC 62047-16:2015-03(en-fr). Оригинальный стандарт IEC 62047-16-2015 в PDF полная версия. Дополнительная инфо + превью по запросу
Document status:
Active
Format:
Electronic (PDF)
Page count:
26
Delivery time (for English version):
1 business day
Delivery time (for Russian version):
3 business days
SKU:
stiec06312
More technical details are being prepared for this document.