ISO 21859-2019 PDF
Name in English:
St ISO 21859-2019
Name in Russian:
Ст ISO 21859-2019
Description in English:
Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) - Test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment. Original standard ISO 21859-2019 in PDF full version. Additional info + preview on request
Description in Russian:
Тонкая керамика (современная керамика, высокотехнологичная керамика) - метод испытания на плазменную стойкость керамических компонентов в оборудовании для производства полупроводников. Оригинальный стандарт ISO 21859-2019 в PDF полная версия. Дополнительная инфо + превью по запросу
Document status:
Active
Format:
Electronic (PDF)
Page count:
10
Delivery time (for English version):
1 business day
Delivery time (for Russian version):
2 business days
SKU:
stiso11196
More technical details are being prepared for this document.